软性镜面加工

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软性镜面加工

软性玻璃加工主要针对冰洲石(CaCO₃)、氟化钙(CaF₂)等低硬度、高热敏性光学晶体,其核心挑战在于解理特性(冰洲石易沿晶面裂开)和软质表面(莫氏硬度3-4)导致的加工缺陷控制。关键技术包括:(1)低温恒温抛光,通过制冷平台维持20±0.5℃环境抑制热膨胀;(2)解理面自适应加工,针对冰洲石的各向异性采用振动辅助金刚石车削,刀具倾角动态调整至±2°以内;(3)非水基抛光液化学机械抛光(如乙二醇基),避免氟化钙的水解腐蚀。此类材料加工后需超净封装防止潮解,广泛应用于紫外光刻镜头(CaF₂)和偏振光学系统(冰洲石棱镜),面形精度可达λ/20(@632.8nm)。

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