异形镜面加工是针对非球面、离轴、自由曲面等复杂光学表面的精密制造技术,其核心在于突破传统旋转对称几何的加工限制。这类加工需结合五轴超精密机床的多轴联动控制和原位检测补偿技术,通过金刚石车削或小工具头抛光实现微米级面形精度,再借助磁流变抛光(MRF)或离子束修形(IBF)将表面粗糙度降至亚纳米级(Ra<0.5nm)。关键技术难点包括:(1)刀具路径规划,需优化轨迹避免局部过切;(2)各向异性材料处理(如碳化硅或软性晶体),需动态调整工艺参数;(3)面形误差闭环修正,通过干涉仪在线测量实现λ/50(λ=632.8nm)的波前精度。异形镜面可大幅简化光学系统结构(如离轴三反系统),广泛应用于空间遥感、激光通信和极紫外光刻等领域,但加工效率仅为传统球面镜的1/3-1/5,是典型的高附加值工艺。