真空平行光管

真空平行光管是一种在真空环境中工作的高精度光学测试设备，通过将光学系统置于10⁻³~10⁻⁶ Pa的真空舱体内，彻底消除大气折射、热湍流和尘埃干扰。其核心采用反射式设计（如离轴抛物面镜或R-C系统），配合精密温控（±0.1℃）可实现λ/20（@632.8nm）以上的波前精度和角秒级准直性，专门用于空间望远镜在轨标定、极紫外光刻机光学检测等对环境稳定性要求严苛的领域，是航天光学和尖端微纳制造的关键测试装备。