大口径高精密镜面

高精密光学镜面采用超精密数控研磨与离子束抛光工艺，实现纳米级面形精度，其中大口径镜面（≥1米）波像差可加工至λ/60（@632.8nm）；中小口径镜面通过磁流变抛光确定性修形，波像差可加工至λ/60-λ/80(@632.8nm)。