金属镜面加工

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金属镜面加工

金属镜面加工是针对铝、铜、铍等金属材料的高精度光学表面制造技术,其核心在于克服金属材料软质地、易产生划痕和热变形的加工难点。关键技术包括:(1超精密金刚石单点车削,通过纳米级切削深度和超高转速(>5000rpm)实现亚微米级面形精度;(2无应力镀镍磷合金层,作为抛光过渡层以填补金属晶界缺陷;(3化学机械抛光(CMP)结合离子束修形,将表面粗糙度降至0.5nm以下。金属镜面具有高热导率和轻量化优势,常用于红外光学系统(如铝制反射镜)和空间低温载荷(如铍镜),但需通过热稳定化处理(如-196℃深冷循环)以抑制微应变,最终面形精度可达λ/20(λ=632.8nm),是低成本、快速响应光学元件的首选方案。


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